|
Models
|
P33.T1SW/B
P33.T1KW/B
|
P33.T2SW/B
P33.T2KW/B
|
P33.T3SW/B
P33.T3KW/B
|
P33.T4SW/B
P33.T4KW/B
|
P33.T5SW/B
P33.T5KW/B
|
P33.T6SW/B
P33.T6KW/B
|
P33.T8SW/B
P33.T8KW/B
|
Units
|
|
Active axis
|
θx、θy
|
θx、θy
|
θx、θy
|
θx、θy
|
θx、θy
|
θx、θy
|
θx、θy
|
|
|
Tilt angle（0~120V）
|
1（≈210"）
/±0.5(≈±110")
|
2.5（≈520"）
/±1.25(≈±260")
|
4（≈820"）
/±2(≈±410")
|
5（≈1030"）
/±2.5(≈±520")
|
6.8（≈1400"）
/±3.4(≈±700")
|
7.5（≈1550"）
/±3.75(≈±770")
|
10（≈2060"）
/±5(≈±1030")
|
mrad±20%
|
|
Tilt angle
（0~150V）
|
1.25（≈260"）
/±0.625（≈130"）
|
3（≈600"）
/±1.5(≈±300")
|
5（≈1000"）
/±2.5(≈±500")
|
6（≈1200"）
/±3(≈±600")
|
8.5（≈1700"）
/±4.25(≈±850")
|
9（≈1900"）
/±4.5(≈±950")
|
12.5（≈2500"）
/±6.25(≈±1250")
|
mrad±20%
|
|
Sensor type
|
SGS/-
|
SGS/-
|
SGS/-
|
SGS/-
|
SGS/-
|
SGS/-
|
SGS/-
|
|
|
Closed/open loop Resolution
|
0.1(≈0.02")
/0.05(≈0.01")
|
0.05(≈0.01")
0.02(＜0.01")
|
0.15(≈0.03")
0.05(≈0.01")
|
0.25(≈0.05")
0.1(≈0.02")
|
0.35(≈0.07")
0.12(≈0.02")
|
0.45(≈0.09")
0.15(≈0.03")
|
0.5(≈0.1")
0.2(≈0.04")
|
μrad
|
|
Linearity
|
-
|
0.1/-
|
0.15/-
|
0.2/-
|
0.25/-
|
0.25/-
|
0.25/-
|
%F.S.
|
|
Repeatability
|
-
|
0.02/-
|
0.02/-
|
0.02/-
|
0.02/-
|
0.02/-
|
0.02/-
|
%F.S.
|
|
Unloaded resonant frequency
|
3.8
|
3.7
|
3.5
|
3.4
|
3.3
|
3.2
|
3.1
|
kHz±20%
|
|
Unloaded step time
|
-
|
1.5/1
|
2.5/1.5
|
3/2
|
5/2.5
|
6/3.5
|
8/4
|
ms±20%
|
|
Unloaded operating frequency
|
10% travel
|
1100
|
1000
|
800
|
500
|
400
|
300
|
150
|
Hz±20%
|
|
|
100% travel
|
90
|
80
|
60
|
40
|
30
|
25
|
15
|
|
|
Capacitance
|
1.8/axis
|
3.6/axis
|
5.2/axis
|
7.2/axis
|
9/axis
|
11/axis
|
14.5/axis
|
μF±20%
|
|
Material
|
Steel
|
Steel
|
Steel
|
Steel
|
Steel
|
Steel
|
Steel
|
|
|
Mass
|
150
|
190
|
220
|
240
|
265
|
290
|
340
|
g±5%
|
|
Platform Length L
|
28
|
37
|
46
|
55
|
64
|
73
|
91
|
mm
|
